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申请/专利权人：太原理工大学;山西浙大新材料与化工研究院
摘要：本发明属于半导体光电探测器领域，具体涉及一种PS纳米球辅助的4H‑SiC基热载流子型光电探测器及其制备方法，探测器包括自上而下依次设置的顶电极层、PS:TiN‑NPs层、半导体层、底电极层，所述顶电极层为半透明金属电极，PS:TiN‑NPs层包括单层排布在半导体层上的PS纳米球阵列和溅射在PS纳米球阵列表面的TiN纳米颗粒层，所述PS纳米球阵列为多个PS纳米球颗粒在半导体层表面呈周期性排布形成，所述半导体层为4H‑SiC基底，底电极层为不透光金属电极。本发明提供了器件在可见‑近红外宽谱范围内的亮电流，提升了探测器的探测性能。
主权项：1.一种PS纳米球辅助的4H-SiC基热载流子型光电探测器，其特征在于，包括自上而下依次设置的顶电极层（5）、PS:TiN-NPs层（7）、半导体层（1）、底电极层（6），所述顶电极层（5）为半透明金属电极，PS:TiN-NPs层（7）包括单层排布在半导体层上的PS纳米球阵列和溅射在PS纳米球阵列表面的TiN纳米颗粒层（3），所述PS纳米球阵列为多个PS纳米球颗粒（2）在半导体层（1）表面呈周期性排布形成，所述半导体层（1）为4H-SiC基底，底电极层（6）为不透光金属电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 太原理工大学 山西浙大新材料与化工研究院 一种PS纳米球辅助的4H-SiC基热载流子型光电探测器及制备方法
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