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基于小量程表压芯片的微绝压测量装置及其改装方法 

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申请/专利权人:上海洛丁森工业自动化设备有限公司

摘要:本发明提供了一种基于小量程表压芯片的微绝压测量装置及其改装方法,所述测量装置包括传感器差压膜盒以及安装于所述传感器差压膜盒的内腔中的差压传感器管座,所述传感器差压膜盒具有连通所述内腔的负腔通道,所述差压传感器管座设有具有小量程的表压芯片以及负腔注油管,所述负腔注油管与所述表压芯片的负端以及所述内腔相连通,所述负腔注油管被配置为封堵设置,所述测量装置中的负腔通道被配置为封堵设置,所述表压芯片的负端均处于真空状态。本发明实现了基于现有的差压传感器将其改装成绝压传感器,并利用现有的小量程表压芯片达到微绝压测量的目的。

主权项:1.一种基于小量程表压芯片的微绝压测量装置,所述测量装置包括传感器差压膜盒1以及安装于所述传感器差压膜盒1的内腔10中的差压传感器管座2,所述传感器差压膜盒1具有连通所述内腔10的负腔通道11,所述差压传感器管座2设有具有小量程的表压芯片以及负腔注油管20,所述负腔注油管20与所述表压芯片的负端以及所述内腔10相连通,所述负腔注油管20被配置为封堵设置,其特征在于,所述测量装置包括:所述负腔通道11被配置为封堵设置,所述表压芯片的负端均处于真空状态。

全文数据:

权利要求:

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