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申请/专利权人：江苏理工学院
摘要：本申请实施例涉及一种纳米相变薄膜材料及其制备方法和应用，属于用于信息存储的相变材料技术领域。本申请实施例的纳米相变薄膜材料，该材料是由Ti与Sb2Te3合金混合后沉积在柔性衬底上，该材料的化学通式为TixSb2Te31‑x；其中，x表示原子百分比，且0.01x0.1。基于该相变薄膜材料设计的柔性相变存储器，能够解决现有技术中柔性器件在重复使用过程中的机械变形问题；本申请制备方法可控性强，原料成本低，易于大规模生产。
主权项：1.一种纳米相变薄膜材料，其特征在于，该材料是由Ti与Sb2Te3合金混合后沉积在柔性衬底上，该材料的化学通式为TixSb2Te31-x；其中，x表示原子百分比，且0.01x0.1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏理工学院 一种纳米相变薄膜材料及其制备方法和应用
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