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含有亚硝酰氟的气体的分析方法和气体中的亚硝酰氟的除去方法 

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申请/专利权人:株式会社力森诺科

摘要:提供能够高精度且安全地对含有氧气和氮气中的至少一者和亚硝酰氟的混合气体中所含有的氧气和氮气进行定量的含有亚硝酰氟的气体的分析方法。含有亚硝酰氟的气体的分析方法具备:转化工序,使混合气体接触能与亚硝酰氟反应生成氮氧化物的反应剂,通过亚硝酰氟与反应剂的反应将亚硝酰氟转化为氮氧化物;除去工序,使经过转化工序后的气体接触能吸附氮氧化物的吸附剂,通过氮氧化物的吸附从所述气体中除去氮氧化物;以及,分析工序,分析经过除去工序后的气体,进行氧气和氮气的定量。

主权项:1.一种含有亚硝酰氟的气体的分析方法,是对含有氧气和氮气中的至少一者和亚硝酰氟的混合气体中的所述氧气和所述氮气进行定量的方法,具备:转化工序,使所述混合气体接触能与所述亚硝酰氟反应生成氮氧化物的反应剂,通过所述亚硝酰氟与所述反应剂的反应将所述亚硝酰氟转化为所述氮氧化物;除去工序,使经过所述转化工序后的气体接触能吸附所述氮氧化物的吸附剂,通过所述氮氧化物的吸附从所述气体中除去所述氮氧化物;和分析工序,分析经过所述除去工序后的气体,进行所述氧气和所述氮气的定量,所述反应剂的比表面积为0.2m2g以上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社力森诺科 含有亚硝酰氟的气体的分析方法和气体中的亚硝酰氟的除去方法

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