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申请/专利权人：中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院
摘要：本发明涉及一种AlGaN光电阴极的CsF激活方法，通过对AlGaN光电阴极CsF激活工艺进行设计，使得采用所述CsF激活方法制备出的NEAAlGaN光电阴极相比于传统CsO激活工艺具有更高的光电发射效率，有利于提升紫外告警系统的探测距离。进一步地，采用本申请的CsF激活工艺制备的NEAAlGaN光电阴极在全波段都具备更高的量子效率，其中在紫外探测器最关注的254nm波段的量子效率可达25.4%，相比传统工艺提升了36%；同时所述CsF激活方法在工艺实施方面成熟可控，工艺现象可以反复重现，是一种能够满足生产需求的成熟激活工艺，在制备紫外像增强器方面具有较大的应用潜力。
主权项：1.一种AlGaN光电阴极的CsF激活方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在超高真空系统中，对AlGaN光电阴极进行第一次加热；步骤2：室温下保持Cs源开启，AlGaN光电阴极的光电流逐渐增长，直至到达第一个峰值；所述Cs源的电流设置范围为1.1A-1.25A；步骤3：保持Cs源开启，当检测到AlGaN光电阴极的光电流下降至第一个峰值的85%-95%时，打开气态NF3源，AlGaN光电阴极的光电流再次上升，直至达到第二个峰值；步骤4：保持气态NF3源处于开启状态，当检测到AlGaN光电阴极的光电流下降至第二个峰值的90%-98%时，关闭气态NF3源，AlGaN光电阴极的光电流再次上升；步骤5：重复步骤2-4直至光电流不再增长时，关闭Cs源；步骤6：在超高真空系统中对AlGaN光电阴极进行第二次加热处理，重复步骤2-5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院 AlGaN光电阴极的Cs/F激活方法
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