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申请/专利权人：深圳市辰中科技有限公司;深圳市晶相技术有限公司
摘要：本发明实施例提供了晶圆膜层中物质浓度的量测方法和量测系统。所述晶圆膜层中物质浓度的量测方法包括：获取晶圆膜层中物质浓度与薄膜NK值之间的线性关系；提供目标晶圆；获取所述目标晶圆的目标薄膜NK值；根据所述目标薄膜NK值和所述线性关系得到所述目标晶圆的物质浓度。本实施例提供的晶圆膜层中物质浓度的量测方法能够实现准确且无损量测不同膜厚的晶圆中的物质浓度。
主权项：1.一种晶圆膜层中物质浓度的量测方法，其特征在于，包括：获取晶圆膜层中物质浓度与薄膜NK值之间的线性关系；提供目标晶圆；获取所述目标晶圆的目标薄膜NK值；根据所述目标薄膜NK值和所述线性关系得到所述目标晶圆的物质浓度。
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百度查询： 深圳市辰中科技有限公司 深圳市晶相技术有限公司 晶圆膜层中物质浓度的量测方法和量测系统
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