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一种箔材用扫描电镜样品台 

申请/专利权人:中铝材料应用研究院有限公司

申请日:2023-08-14

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN221282033U

主分类号:H01J37/20

分类号:H01J37/20

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权

摘要:本实用新型提供了一种箔材用扫描电镜样品台,包括第一预制孔板、第二预制孔板、转动连接装置、锁紧装置、以及支撑螺杆。利用本装置,可实现将失效箔材缺陷置于预制孔板的某样品孔的中心位置,然后闭合第一预制孔板和第二预制孔板,再将锁紧装置在转动装置相对侧的两预制孔板边缘锁紧,在第一预制孔板或第二预制孔板一侧装上支撑螺杆,可先分析一面的缺陷,然后将锁紧的预制孔板翻过来,将支撑螺杆装到另一预制孔板上,分析另一面的缺陷,可实现在不使用导电胶锁紧样品的同时,快速切换箔材的两个面进行分析。本实用新型公开的箔材用扫描电镜样品台,可在预制孔板上开多个形状的预制孔,可进行失效箔材的批量分析,结构简单可靠,可重复使用。

主权项:1.一种箔材用扫描电镜样品台,其特征在于,包括第一预制孔板、第二预制孔板、转动连接装置、锁紧装置、以及支撑螺杆,所述第一预制孔板、第二预制孔板相对设置且一侧通过转动连接装置转动连接;所述第一预制孔板上设置第一螺纹盲孔、以及一个或多个第一样品孔;所述第二预制孔板上与第一螺纹盲孔相对的位置上设置有第二螺纹盲孔、与第一样品孔相对的位置上均设置有第二样品孔;所述支撑螺杆穿过第一螺纹盲孔和或第二螺纹盲孔设置于第一预制孔板或第二预制孔板外侧;所述锁紧装置可拆卸地设置于与转动连接装置相对侧的第一预制孔板和第二预制孔板的边缘。

全文数据:

权利要求:

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