申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-03-20

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN111868882B

主分类号：H01L21/027

分类号：H01L21/027;B05C11/00;B05C11/10;B05D1/26;B05D3/00

优先权：["20180323 JP 2018-056684"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2021.01.12#实质审查的生效;2020.10.30#公开

摘要：本发明提供一种能够抑制异物混入要供给到基片的处理液中的液处理装置。装置构成为，包括：将从处理液供给源23供给的用于处理基片的处理液释放到该基片的喷嘴22；将上述处理液供给源23和上述喷嘴22连接的主流路；设置于上述主流路的过滤器26；从上述主流路分支的分支管路41A；设置于上述分支管路41A的端部的泵42；和控制部10，其输出控制信号以进行第一步骤和接着的第二步骤，其中，上述第一步骤用上述泵42进行吸液以使得从上述处理液供给源23供给来的上述处理液流入上述分支管路41A，上述第二步骤从上述泵42向上述分支管路41A释放比该分支管路41A的容量少的量的该处理液以从上述喷嘴22释放上述处理液。

主权项：1.一种液处理装置，其特征在于，包括：将从处理液供给源供给的用于处理基片的处理液释放到该基片的喷嘴；将所述处理液供给源和所述喷嘴连接的主流路；设置于所述主流路的过滤器；从所述主流路分支的分支管路；设置于所述分支管路的端部的泵；以及控制部，所述主流路包括：循环管路；从该循环管路的第一位置分支而连接到所述喷嘴的第一连接流路；和第二连接流路，其在所述循环管路中从在处理液的循环方向上与所述第一位置不同的第二位置分支而连接到所述处理液供给源，所述过滤器设置于所述主流路中的所述循环管路，所述分支管路在该循环管路中从在所述循环方向上与第一位置、第二位置不同的第三位置分支，从所述第一位置通过所述第三位置连接到所述泵的配管是液驱动用配管，从所述第三位置通过所述第二位置向所述处理液供给源延伸的配管是返回配管，所述液驱动用配管具有构成所述分支管路的分支管和所述构成循环管路的循环管路形成管，所述控制部输出控制信号以进行第一步骤和接着的第二步骤，其中，所述第一步骤用所述泵进行吸液以使得从所述处理液供给源供给来的所述处理液流入所述分支管路，所述第二步骤从所述泵向所述分支管路释放比该分支管路的容量少的量的该处理液，使得以被所述泵吸引而贮存的处理液从所述泵被释放到所述液驱动用配管时，不会超过所述分支管流入到所述循环管路形成管和所述返回配管的方式，从所述喷嘴释放所述处理液。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 液处理装置和液处理方法

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