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申请/专利权人：珠海鼎泰芯源晶体有限公司
申请日：2022-09-13
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN115491203B
主分类号：C09K13/08
分类号：C09K13/08;H01L21/306
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2023.01.03#实质审查的生效;2022.12.20#公开
摘要：本发明属于材料加工技术领域，提供了一种腐蚀液及其制备方法和应用，本发明的腐蚀液包括两种含有不同组分的第一腐蚀液和第二腐蚀液，通过两种腐蚀液的配合，使得腐蚀后的材料的亚表面损伤能够有效改善，同时腐蚀液腐蚀速率均匀，避免了水波纹及亮点等缺陷的产生，改善研磨片表面质量，本发明的产品腐蚀后材料的表面粗糙度不超过0.7μm，腐蚀后表面平整光洁，可满足后续工艺如抛光和清洗的要求；本发明提供的腐蚀方法操作简便，可以适用于半导体材料的批量腐蚀制备，例如磷化铟研磨片的腐蚀加工，腐蚀方法工艺简单、高效，腐蚀效果稳定。
主权项：1.一种磷化铟的腐蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：依次采用第一腐蚀液和第二腐蚀液对待腐蚀的材料进行腐蚀；先分别配置第一腐蚀液和第二腐蚀液；将待腐蚀的材料放入第一腐蚀液中进行第一腐蚀；第一腐蚀完成后，清洗材料；将材料放入第二腐蚀液中进行第二腐蚀；第二腐蚀完成后，将材料进行干燥；所述第一腐蚀和第二腐蚀的温度为10-20℃；所述第一腐蚀的时间为2-8min；所述第二腐蚀的时间为30s；所述第一腐蚀液由如下组分组成：冰醋酸、三氧化铬、氢氟酸和水；所述第二腐蚀液由如下组分组成：氢氟酸、硝酸和水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 一种腐蚀液及其制备方法和应用
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