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具有力觉感知的二维大行程解耦微纳米平台 

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申请/专利权人:华北水利水电大学

摘要:一种具有力觉感知的二维大行程解耦微纳米平台,本发明在放大机构与微动平台之间设置了带力敏支链的导向模块,在力敏支链上布置有应变片,压电陶瓷驱动器驱动位移经放大机构放大后带动导向模块中部产生垂直于驱动方向的移动,这样导向模块两端的力敏支链将产生变形,应变片通过组桥解算出导向模块的位移量和所受载荷,用于推算微动平台的移动位移与桥路电压输出和压电陶瓷驱动电压间的映射关系,以实现对微动平台的精确闭环控制,同时对称布置的压电陶瓷驱动器和放大机构,能够实现微动平台大行程的位移输出和解耦控制。本发明能够实现平面二维正交运动的解耦,具有行程大、精度高、便于控制等特点,特别适合在大行程高精度精微操作台中使用。

主权项:1.一种具有力觉感知的二维大行程解耦微纳米平台,平台整体为一体成型的呈扁平的正方形,平台含有外围的正方形基座和位于基座中心正方形孔内的微动平台,在微动平台外侧的基座内设有放大机构,其特征是:所述的微动平台为正方形,所述的放大机构为形状结构相同的四个,两两对称居中分布在微动平台四个侧面外部,在基座上设有容纳放大机构的长方形的容纳孔,长方形的放大机构位于该容纳孔内,放大机构内安装有压电陶瓷驱动器,放大机构一边与基座的边部连接,另一边与导向模块连接;导向模块中部与微动平台四个侧面中部之间通过竖向薄片状的两个平行的柔性竖梁连接;所述的导向模块的两端设有对称结构的力敏支链,力敏支链与容纳孔两端的基座连接,在力敏支链上布置有应变片。

全文数据:

权利要求:

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