申请/专利权人：浙江大学

申请日：2021-01-20

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN112729120B

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00;G01B11/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2021.05.21#实质审查的生效;2021.04.30#公开

摘要：本发明公开了一种用于恶劣环境水冷壁结焦检测的探针：依次布置的激光发生单元、导光臂组件、光路系统和旋转探头，激光发生单元与光路系统之间布置有传感器阵列；激光发生单元产生的激光由导光臂组件引入光路系统经分束为入射光和参考光；入射光抵达旋转探头后变成发散光束，照射到水冷壁上散射形成物光；旋转探头捕获物光后在传感器阵列形成物光光场；参考光经光路系统在传感器阵列处形成参考光光场，发生干涉产生全息干涉；图案信号接收处理单元，采集全息干涉图案，获得被测水冷壁区域结焦位置及厚度信息。本发明还公开了采用上述探针用于恶劣环境水冷壁结焦检测的方法。该探针及方法可以实现恶劣环境下水冷壁结焦位置及严重程度的快速准确测量。

主权项：1.一种用于恶劣环境水冷壁结焦检测的探针，其特征在于，所述探针包括：依次布置的激光发生单元、导光臂组件、光路系统和旋转探头，所述激光发生单元与光路系统之间布置有传感器阵列；所述激光发生单元产生的激光由导光臂组件引入光路系统经分束为入射光和参考光；所述入射光抵达旋转探头后经过光学透镜后变成发散光束，照射到水冷壁上，水冷壁壁面散射入射光形成物光；物光由旋转探头所捕获后通过光路系统在传感器阵列形成物光光场；参考光经光路系统在传感器阵列处形成与物光强度相当的参考光光场，物光光场与参考光光场发生干涉产生全息干涉图案；所述探针还包括信号接收处理单元，采集全息干涉图案，并通过三维重建算法还原水冷壁表面三维形貌，获得被测水冷壁区域结焦位置及厚度信息；所述光路系统包括分光镜、激光衰减片、聚焦透镜、窄带滤光片和分光薄膜；所述激光发生单元产生的激光由导光臂组件引入光路系统经分束镜分束为入射光和参考光；所述物光由旋转探头所捕获后通过窄带滤光片和分光薄膜在传感器阵列形成物光光场；所述参考光经激光衰减片、聚焦透镜、窄带滤光片和分光薄膜在传感器阵列处形成与物光强度相当的参考光光场；所述传感器阵列为非晶硅红外微测辐射热计。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种用于恶劣环境水冷壁结焦检测的探针和方法

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