申请/专利权人：合肥赛默科思半导体材料有限公司

申请日：2024-06-04

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN118290040A

主分类号：C03C17/36

分类号：C03C17/36

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体的说是一种石英腔体镀金装置及其镀金方法，包括支撑架，所述支撑架的下方中部设有盖筒，所述盖筒呈凹形状结构，所述盖筒内侧开设有空腔，所述支撑架的上方后侧安装有三个液体接管口，本发明通过盖筒封盖在石英筒腔体上，然后通过两个第二清理毛刷采用夹持组件挤压在石英板腔体的两端上，然后通过清理组件和驱动组件的配合下，可以带动第一清理毛刷在石英筒腔体上以及第二清理毛刷在石英板腔体上来回往复清洗，提高本发明的清洗效率，本发明可以防止液体和外部空气中的污染物接触，以及外部的空气穿过石英板腔体和石英筒腔体内侧，提高本发明的清洗密封性，且可以控制液体的流量，以便于液体使用节约。

主权项：1.一种石英腔体镀金装置，包括支撑架（1），其特征在于：支撑架（1）的下方设有盖筒（11），盖筒（11）呈凹形状结构，盖筒（11）内侧开设有空腔（12），支撑架（1）的上方安装有三个液体接管口（13），三个液体接管口（13）和盖筒（11）之间通过液管连接，支撑架（1）的上方安装有氮气设备（14），氮气设备（14）和盖筒（11）之间通过气管连接，支撑架（1）的下方设有石英板腔体（01），石英板腔体（01）的左右两端安装有安装架（02），石英板腔体（01）的顶部安装有石英筒腔体（03），盖筒（11）的下方安装有连接管（120），连接管（120）的一端滑动穿过密封盖（110）并设在石英筒腔体（03）内侧；夹持组件，夹持组件设置在支撑架（1）的下方，用于对安装架（02）进行夹持；清理组件（3），清理组件（3）设置在两个盖块（17）的相对侧，用于在石英板腔体（01）和石英筒腔体（03）内侧进行清理；夹持组件包括安装在支撑架（1）上方的双头电推杆（15），支撑架（1）上开设有限位孔，双头电推杆（15）上安装有连接块（16），两个连接块（16）的下方滑动穿过限位孔内侧并安装有盖块（17），盖块（17）挤压在安装架（02）内侧，盖块（17）的一侧开设有出水槽（18），盖块（17）的下方安装有与出水槽（18）相连通的排液管（19），支撑架（1）的下方设置有限位组件（2），用于对石英板腔体（01）进行限位；清理组件（3）包括第一清理毛刷（31），第一清理毛刷（31）安装在盖筒（11）的内侧，支撑架（1）的顶部安装有用于驱动第一清理毛刷（31）旋转运动的清理电机（30），第一清理毛刷（31）的一端滑动穿过密封盖（110）后并在石英筒腔体（03）内侧紧贴，两个盖块（17）的上方开设有滑轨槽（32），两个盖块（17）的相对侧开设有与滑轨槽（32）相连通的限位槽口，两个滑轨槽（32）的中部通过滑轨连接方式连接有电机座（33），两个电机座（33）的相对侧转动连接有第二清理毛刷（34），第二清理毛刷（34）在限位槽口内滑动连接，两个盖块（17）的一侧安装有与第二清理毛刷（34）固定连接的弹簧防水垫（341），盖筒（11）的下方设置有驱动组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥赛默科思半导体材料有限公司 一种石英腔体镀金装置及其镀金方法

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