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申请/专利权人：杭州晶耐科光电技术有限公司
摘要：本发明公开了一种基于四波共路干涉的球面动态干涉仪及其检测方法。本发明利用一个组合的双干涉系统，包括泰曼格林干涉系统和四波共路干涉系统；其中泰曼格林干涉系统用于对整个光路中的被检镜进行调整，实现消球差镜的焦点与被检面的球心重合的光路对准调整，不做检测。待调整完成后，另一组四波共路干涉系统对被检镜的被检面的波前图像进行采集，具体是利用具有随机编码混合光栅的四波干涉传感器，获取稳定的被检测球面的波前信息，从而隔离外界的振动影响，本发明既能够实现必要的光路对准调整，又能够有效去除外界的振动影响，实现高精度的精密被检面的面形检测。
主权项：1.基于四波共路干涉的球面动态干涉仪的检测方法；其特征在于，该方法应用一个组合的双干涉系统，其中一个双干涉系统用于调整，另一个双干涉系统用于检测；由于具有随机编码混合光栅的干涉传感器产生的是二维网格干涉条纹，不易对消球差镜的焦点与被检面球心重合的调整，因此使用一个泰曼格林干涉系统调整消球差镜的焦点与被检面球心的重合；光路调整完成后，转换采用一个具有随机编码混合光栅的干涉传感器采集图像，获取稳定的被检面的四波剪切共路干涉图；由于四波剪切干涉的光束走的是相同路径，因此避免其他双光束干涉中的外界环境干扰或振动时条纹的抖动影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州晶耐科光电技术有限公司 基于四波共路干涉的球面动态干涉仪及其检测方法
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