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一种基于MEMS技术的荧光氧气传感器 

申请/专利权人:威海精讯畅通电子科技有限公司

申请日:2024-03-29

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118294374A

主分类号:G01N21/01

分类号:G01N21/01;G01N21/64

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本申请涉及氧气感应器技术领域,尤其涉及一种基于MEMS技术的荧光氧气传感器,包括容纳腔,所述容纳腔内设置有直通光腔,所述直通光腔的一端设置有倾斜放置的荧光膜,所述荧光膜下方由上至下依次设置有平凸镜、滤光片和硅光电池,所述直通光腔的另一端设置有双色LED灯。本申请的荧光氧气传感器,灵敏度高、线性范围宽、稳定性好,可实现环境中氧气的实时测定;整体结构更加紧凑、体积小,具有更强的环境适配性。

主权项:1.一种基于MEMS技术的荧光氧气传感器,包括容纳腔,其特征在于:所述容纳腔内设置有直通光腔,所述直通光腔的一端设置有倾斜放置的荧光膜,所述荧光膜下方由上至下依次设置有平凸镜、滤光片和硅光电池,所述直通光腔的另一端设置有双色LED灯。

全文数据:

权利要求:

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