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申请/专利权人：西安诺泰半导体设备有限责任公司
申请日：2023-10-24
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN221244669U
主分类号：B01F23/20
分类号：B01F23/20;F17D3/01;F17D1/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.02#授权
摘要：本实用新型公开了一种液源鼓泡机构及供气柜，包括柜体和液源鼓泡机构；液源鼓泡机构设于柜体内，柜体内设有气柜排气口；液源鼓泡机构包括TOES液源容器、吹扫气体进气管线、吹扫气体排气管线、推进气体进气管线、鼓泡装置和TOES气体出气管线；吹扫气体通过吹扫气体进气口经吹扫气体进气管线进入，经吹扫气体排气管线，利用文丘里效应从吹扫气体出气口排出；推进气通过推进气体进气口经推进气体进气管线进入TOES液源容器，将TOES液源容器中的液源推到鼓泡装置，通过鼓泡装置将液源蒸发气化，将蒸发后的气体通过TOES气体出气管线输送出去；本实用新型优化现有工艺结构，使用生产时更加安全、稳定，结构更合理，维护更方便，液态源的携带率更稳定。
主权项：1.一种液源鼓泡机构，其特征在于，包括TOES液源容器、吹扫气体进气管线、吹扫气体排气管线、推进气体进气管线、鼓泡装置和TOES气体出气管线；吹扫气体进气管线的一端为吹扫气体进气口，另一端分别与鼓泡装置的出气口和进液口连通，并伸入TOES液源容器的底部；吹扫气体排气管线的一端为吹扫气体出气口，设有文丘里结构，另一端分别与鼓泡装置的出气口和进液口连通，并与TOES液源容器的顶部连通；吹扫气体通过吹扫气体进气口经吹扫气体进气管线进入，经吹扫气体排气管线，利用文丘里效应从吹扫气体出气口排出；推进气体进气管线的一端为推进气体进气口，另一端与TOES液源容器的顶部连通，鼓泡装置的进液口与TOES液源容器的底部连通，鼓泡装置的出气口与TOES气体出气管线连通；推进气通过推进气体进气口经推进气体进气管线进入TOES液源容器，将TOES液源容器中的液源推到鼓泡装置，通过鼓泡装置将液源蒸发气化，将蒸发后的气体通过TOES气体出气管线输送出去。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安诺泰半导体设备有限责任公司 一种液源鼓泡机构及供气柜
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