申请/专利权人：华景传感科技(无锡)有限公司

申请日：2024-04-07

公开（公告）日：2024-07-02

公开（公告）号：CN117990240B

主分类号：G01L1/14

分类号：G01L1/14;B81B7/02;B81B3/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.02#授权;2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开

摘要：本发明公开了一种微机电系统压力传感器和微机电系统压力换能器。压力传感器包括：多个压力传感器单元，多个压力传感器单元并联连接；压力传感器单元包括：衬底；第一电极层；支撑层位于围绕第一电极层的边缘设置；第二电极层，第二电极层设置在支撑层远离第一电极层的一侧，第二电极层和支撑层围成的空间为空腔，第二电极层用于在接收到压力信号时产生形变，第二电极层与第一电极层之间的电容在第二电极层产生形变时发生改变；负载层设置在第二电极层远离支撑层的一侧；每一压力传感器单元的负载层的特征参数不同。本发明能够消除压力传感器在测量过程中产生的共振现象，提高了输出检测信号的准确性，降低了噪声影响。

主权项：1.一种微机电系统压力传感器，其特征在于，包括：多个压力传感器单元，多个所述压力传感器单元并联连接；所述压力传感器单元包括：衬底；第一电极层，所述第一电极层位于所述衬底的一侧；支撑层，所述支撑层位于所述第一电极层远离所述衬底的一侧，且所述支撑层位于围绕所述第一电极层的边缘设置；第二电极层，所述第二电极层设置在所述支撑层远离所述第一电极层的一侧，所述第二电极层和所述支撑层围成的空间为空腔，所述第二电极层用于在接收到压力信号时产生形变，所述第二电极层与所述第一电极层之间的电容在所述第二电极层产生形变时发生改变；负载层，所述负载层设置在所述第二电极层远离所述支撑层的一侧；每一所述压力传感器单元的负载层的特征参数不同，其中，所述负载层的特征参数包括材料、厚度、形状、面积以及层数中的至少一种；所述第二电极层包括：多个振膜层，所述振膜层设置在所述支撑层远离所述衬底的一侧，所述振膜层和所述支撑层围成的空间为空腔，所述振膜层用于在接收到压力信号时产生形变；导电层，所述导电层与所述振膜层接触设置，所述导电层设置在每一所述振膜层靠近所述衬底的一侧，或所述导电层设置在每一所述振膜层远离所述衬底的一侧，或所述导电层设置在多个所述振膜层之间，所述导电层用于在接收到压力信号时，与所述振膜层一同产生形变，所述导电层与所述第一电极层之间的电容在所述振膜层产生形变时发生改变。

全文数据：

权利要求：

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