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申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
摘要：本发明属于液体供液系统领域，具体地说是一种降低液体残存量与气泡量的化学品供液端盖及供液结构，端盖上分别开设有进液口及出液口，端盖上还分别设有环形槽及进液流道，进液口与环形槽相连通，进液口进入的液体在充满环形槽后由进液流道溢出；端盖底部的下方设有用于在供液过程中气泡的破碎与引导的引导部，引导部与端盖底部之间设有与出液口连通的出液流道；供液结构中的拉伸管容置于罐体内，罐体上开设有与罐体内腔连通的输气接口；端盖的上端与密封盖插接，下端插设于拉伸管内，端盖及拉伸管通过罐体与密封盖的连接被夹紧固定。本发明能够减少液体进入过程中气泡的产生量，供液过程中破碎与引导气泡，使排出的液体中几乎不含气泡。
主权项：1.一种降低液体残存量与气泡量的化学品供液端盖，其特征在于：所述端盖6上分别开设有进液口4及出液口5，所述端盖6上还分别设有环形槽10及进液流道11，所述进液口4与环形槽10相连通，所述进液口4进入的液体在充满环形槽10后由进液流道11溢出；所述端盖6底部的下方设有用于在供液过程中气泡的破碎与引导的引导部12，所述引导部12与端盖6底部之间设有与出液口5连通的出液流道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 降低液体残存量与气泡量的化学品供液端盖及供液结构
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