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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明提供了一种压电式绝压真空计，属于传感器技术领域，用于解决真空计加工成本高、制备难度大、测试量程窄的问题。本发明的压电式绝压真空计，包括：壳体、压电陶瓷片、第一电极和第二电极、压片组件和真空室连接管。壳体内具有空腔。压电陶瓷片设置于空腔中。压电陶瓷片将空腔分隔为绝压腔和测试腔。第一电极设置于压电陶瓷片的朝向绝压腔的一侧。第二电极设置于压电陶瓷片的朝向测试腔的一侧。压片组件的第一端连接于压电陶瓷片上的第一电极和第二电极。压片组件的第二端延伸至壳体之外，用于连接测试电路。真空室连接管连接于测试腔。提高了压差响应的灵敏度及抗压力能力，加宽了绝压式真空计的气压测量量程。
主权项：1.一种压电式绝压真空计，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内具有空腔；压电陶瓷片，设置于所述空腔中；所述压电陶瓷片将所述空腔分隔为绝压腔和测试腔；第一电极和第二电极，所述第一电极设置于所述压电陶瓷片的朝向所述绝压腔的一侧；所述第二电极设置于所述压电陶瓷片的朝向所述测试腔的一侧；压片组件，所述压片组件的第一端连接于所述压电陶瓷片上的第一电极和第二电极；所述压片组件的第二端延伸至所述壳体之外，用于连接测试电路；真空室连接管，连接于所述测试腔。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 压电式绝压真空计
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