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申请/专利权人：昆山晟成光电科技有限公司
摘要：本发明属于镀膜设备技术领域，涉及一种自下而上的超声波雾化镀膜工艺，包括利用载板输送线使平放的载板在真空腔内沿着X轴移动，载板输送线的输送面下方喷涂组件，喷涂组件包括平行且靠近载板下表面的平流板面，平流板面与载板下表面之间形成有具有设定高度的窄缝流道，平流板面的两侧分别设有抽气风嘴和进气风嘴；进气风嘴喷出超声波雾化镀膜颗粒，在抽气风嘴的负压抽气作用下，超声波雾化镀膜颗粒在窄缝流道内形成稳定的雾化层流，从而在载板的下表面形成设定厚度的镀膜层。本工艺能够在载板与喷涂组件的相对运动中，从而使超声波雾化镀膜颗粒附着在载板的下表面，镀膜方法控制简单，但能够保证大宽度载板镀膜的均匀性。
主权项：1.一种自下而上的超声波雾化镀膜工艺，其特征在于：包括利用载板输送线使平放的载板在真空腔内沿着X轴移动，所述载板输送线的输送面下方喷涂组件，所述喷涂组件包括平行且靠近所述载板下表面的平流板面，所述平流板面与所述载板下表面之间形成有具有设定高度的窄缝流道，所述平流板面的两侧分别设有抽气风嘴和进气风嘴；所述进气风嘴喷出超声波雾化镀膜颗粒，在所述抽气风嘴的负压抽气作用下，所述超声波雾化镀膜颗粒在所述窄缝流道内形成稳定的雾化层流，所述雾化层流的方向与载板的移动方向相反，从而所述在载板的下表面形成设定厚度的镀膜层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山晟成光电科技有限公司 一种自下而上的超声波雾化镀膜工艺
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