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退火用托盘治具及退火设备 

申请/专利权人:星钥(珠海)半导体有限公司

申请日:2023-10-18

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN221238175U

主分类号:F27D5/00

分类号:F27D5/00;F27B17/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权

摘要:本实用新型提供一种退火用托盘治具及退火设备,退火用托盘治具包括石墨本体,石墨本体外部涂覆有碳化硅涂层,石墨本体包括两个呈镜像对称设置的托盘部,两个托盘部折弯呈“∧”形设置,托盘部的顶面侧设置有容纳凹位,托盘部远离折弯处的端部成型有限位支撑部,限位支撑部自托盘部的顶面侧背向托盘部的底面侧伸出,两个限位支撑部之间形成卡位;一个退火用托盘治具可堆叠放置在另一个退火用托盘治具的卡位内,呈堆叠放置的两个相邻的退火用托盘治具的托盘部之间具有间隙。退火设备设置有上述退火用托盘治具,该退火用托盘治具具有适用于大规模生产且可提高生产效率的优点。

主权项:1.退火用托盘治具,包括石墨本体,所述石墨本体外部涂覆有碳化硅涂层,其特征在于:所述石墨本体包括两个呈镜像对称设置的托盘部,两个所述托盘部折弯呈“∧”形设置,所述托盘部的顶面侧设置有容纳凹位,所述托盘部远离折弯处的端部成型有限位支撑部,所述限位支撑部自所述托盘部的顶面侧背向所述托盘部的底面侧伸出,两个所述限位支撑部之间形成卡位;一个所述退火用托盘治具可堆叠放置在另一个所述退火用托盘治具的所述卡位内,呈堆叠放置的两个相邻的所述退火用托盘治具的所述托盘部之间具有间隙。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 星钥(珠海)半导体有限公司 退火用托盘治具及退火设备

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