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申请/专利权人:同济大学
摘要:本发明涉及一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法,该装置包括:分光镜:设于待测激光器后,用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路,分为第一光束和第二光束,分别用于能量监测和光斑形貌采集;能量监测模块:该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和能量计,用于实时监测第一光束的能量波动;光斑形貌采集模块:该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、CCD和二维电机,用于分区采集第二光束的CCD光斑图像,并基于第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接,获得大口径激光光斑形貌。与现有技术相比,本发明具有测量口径大、拼接效果好等优点。
主权项:1.一种大口径激光光斑形貌的测量装置,其特征在于,包括:分光镜2:设于待测激光器1后,用于将所述待测激光器1射出的大口径光束分成两路,分为第一光束和第二光束,分别用于能量监测和光斑形貌采集;能量监测模块:该模块包括依次设于分光镜2之后的聚焦透镜7、第一快门8、第一衰减片9和能量计10,用于实时监测第一光束的能量波动;光斑形貌采集模块:该模块包括依次设于分光镜2之后的第二衰减片3、第二快门4、CCD5和二维电机6,用于分区采集第二光束的CCD光斑图像,并基于所述第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接,获得大口径激光光斑形貌,其中第二光束不通过聚焦透镜。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 同济大学 一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法
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