龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：上海华岭集成电路技术股份有限公司
申请日：2024-04-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118068168B
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28;G06N3/126
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.24#公开
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于遗传算法的测试稳定性提升方法及系统，方法包括以下步骤：确定利用探针卡对晶圆进行高低温测试的最少压接次数，并对初始压接顺序进行编码；随机生成若干个初始压接顺序编码作为初始种群；将每次测试压接时探针卡与晶圆的接触情况转化为压接矩阵进行表示，其中，0表示不接触，1表示接触，以相邻的两个压接矩阵之和中零元素的个数最少为优化目标，设定适应度函数；基于适应度函数对初始种群进行遗传操作并进行多次迭代，选择适应度值最小的压接顺序编码作为最优解。通过利用遗传算法来求解多工位并行测试时探针卡与晶圆的测试压接顺序的最优解，提升了晶圆高低温测试的稳定性与良率。
主权项：1.一种基于遗传算法的测试稳定性提升方法，其特征在于，包括以下步骤：确定利用探针卡对晶圆进行高低温测试的最少压接次数，并对初始压接顺序进行编码；随机生成若干个初始压接顺序编码作为初始种群；将每次测试压接时所述探针卡与所述晶圆的接触情况转化为压接矩阵进行表示，其中，0表示不接触，1表示接触，以相邻的两个压接矩阵之和中零元素的个数最少为优化目标，设定适应度函数为： 式中，分别表示第1、2、3……x-1、x次压接时对应的压接矩阵；基于所述适应度函数对所述初始种群进行遗传操作并进行多次迭代，选择适应度值最小的压接顺序编码作为最优解。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华岭集成电路技术股份有限公司 基于遗传算法的测试稳定性提升方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号