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申请/专利权人：深圳市华拓半导体技术有限公司
申请日：2024-04-30
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118111918B
主分类号：G01N21/01
分类号：G01N21/01;G01N21/88;G01N21/95
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2024.06.18#实质审查的生效;2024.05.31#公开
摘要：本申请涉及摄影测量学技术，公开了一种芯片外观检测设备，包括：自动对焦模组、视觉检测模组和双层棱镜模组，且双层棱镜模组包括上、下层棱镜组；视觉检测模组的图像采集范围正对上、下层棱镜组中的产品放置位，以采集产品放置位上的芯片背面图像；上层棱镜组，用于将上层棱镜组的产品放置位的一对侧面的摄像光线传导至视觉检测模组；下层棱镜组，用于将下层棱镜组的产品放置位的另一对侧面的摄像光线传导至视觉检测模组；自动对焦模组，用于控制视觉检测模组在产品放置位的垂直方向上移动。本申请还公开了一种基于芯片外观检测设备的检测方法和计算机可读存储介质。本申请旨在以低设备成本的方式，实现高效采集芯片产品不同检测面的图像。
主权项：1.一种芯片外观检测设备，其特征在于，包括：自动对焦模组、视觉检测模组和双层棱镜模组，且双层棱镜模组包括上、下层棱镜组；上、下层棱镜组中均设有多对棱镜；且上、下层棱镜组中，每两个相邻的棱镜为一棱镜对，一棱镜对适配至少一个产品放置位；视觉检测模组的图像采集范围正对上、下层棱镜组中的产品放置位，以采集产品放置位上的芯片背面图像；上层棱镜组，用于将上层棱镜组的产品放置位的一对侧面的摄像光线传导至视觉检测模组，以使视觉检测模组采集芯片的一对侧面图像；下层棱镜组，用于将下层棱镜组的产品放置位的另一对侧面的摄像光线传导至视觉检测模组，以使视觉检测模组采集芯片的另一对侧面图像；自动对焦模组，用于控制视觉检测模组在产品放置位的垂直方向上移动，以使视觉检测模组在采集不同图像时，均能保持光程不变；所述视觉检测模组和所述双层棱镜模组之间还设有光源区；所述光源区中设置有同轴光源，且所述光源区在所述同轴光源上还设有侧面光源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市华拓半导体技术有限公司 一种芯片外观检测设备、检测方法及存储介质
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