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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本发明提供了一种立式炉，其包括围合形成容纳腔的上炉盖、下炉门、外炉管以及内炉管，其中，上炉盖和下炉门分别设置在外炉管的上下两端，内炉管设置在外炉管的内侧，内炉管靠近下炉门的一端为封闭端且封闭端与下炉门之间保持有距离；容纳腔内设立式炉可转动的用于承载载具舟的载具舟承载装置，下炉门远离容纳腔一侧设有用于驱动载具舟承载装置旋转的驱动装置；本发明提供的立式炉，通过设置可转动的用于承载载具舟的载具舟承载装置，并通过驱动装置驱动载具舟承载装置在容纳腔内旋转，从而带动载具舟承载装置所承载的载具舟一同旋转，进而提升载具舟上硅片的受热均匀性。
主权项：1.一种立式炉，其特征在于，包括围合形成容纳腔的上炉盖、下炉门、外炉管以及内炉管，其中，所述上炉盖和所述下炉门分别设置在所述外炉管的上下两端，所述内炉管设置在所述外炉管的内侧，所述内炉管靠近所述下炉门的一端为封闭端且所述封闭端与所述下炉门之间保持有距离；所述容纳腔内设有可转动的用于承载载具舟的载具舟承载装置，所述下炉门远离所述容纳腔一侧设有用于驱动所述载具舟承载装置旋转的驱动装置。
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百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 立式炉
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