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申请/专利权人:理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
摘要:本实用新型公开门阀以及加载腔或卸载腔。所述门阀包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架,所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上,所述阀板框架围绕阀板固定并在升降模块的驱动下沿着导轨模块升降,所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔,与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位,以在所述阀板意外落下时提供支撑;所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器,所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块,所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。本实用新型可以有效防止误操作,提高门阀的安全性,防止安全事故。
主权项:1.一种门阀,包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架,所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上,所述阀板框架围绕阀板固定并在所述升降模块的驱动下沿着所述导轨模块升降,其特征在于,所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔,与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位,以在所述阀板意外落下时提供支撑;所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器,所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块,所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。
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权利要求:
百度查询: 理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司 门阀以及加载腔或卸载腔
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