申请/专利权人:TOTO株式会社
申请日:2019-10-15
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN111128837B
主分类号:H01L21/683
分类号:H01L21/683
优先权:["20181030 JP 2018-203749","20190912 JP 2019-166033"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.25#授权;2021.07.23#实质审查的生效;2020.05.08#公开
摘要:本发明的目的在于提供一种静电吸盘,在设置有多孔质部的静电吸盘中,能够进一步抑制电弧放电的发生。具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面;基座板,具有气体导入路;及第1多孔质部,设置在与所述气体导入路相对的位置,其特征为,所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部,所述第1多孔质部具有:多孔部,具有多个孔;及第1致密部,比所述多孔部更致密,在向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时,构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠,所述多孔部与第1孔部并不重叠。
主权项:1.一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面;基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路;及第1多孔质部,设置在所述基座板与所述陶瓷电介体基板的所述第1主面之间且与所述气体导入路相对的位置,其特征为,所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部,所述第1多孔质部具有:多孔部,具有多个孔;及第1致密部,比所述多孔部更致密,在向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时,构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠,所述多孔部与第1孔部并不重叠,在所述第1方向上,在所述第1致密部与所述基座板之间设置有所述多孔部。
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