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申请/专利权人:上海显耀显示科技有限公司
摘要:一种晶圆撕金机,包括:支撑平台;载台,所述载台固定于所述支撑平台表面,所述载台表面包括至少一个晶圆固定区,所述晶圆固定区用于固定晶圆;压膜机构,所述压膜机构包括平行于第一方向设置的辊轴,所述辊轴可绕轴向自转,并沿第二方向做往复运动,所述第一方向和所述第二方向均平行于所述载台表面,且所述第一方向和所述第二方向具有预设夹角,所述辊轴用于滚压铺设于所述晶圆表面的粘性膜,使所述粘性膜粘附在所述晶圆表面,利用提高撕金的质量。
主权项:1.一种晶圆撕金机,其特征在于,包括:支撑平台;载台,所述载台固定于所述支撑平台表面,所述载台表面包括至少一个晶圆固定区,所述晶圆固定区用于固定晶圆;压膜机构,所述压膜机构包括平行于第一方向设置的辊轴,所述辊轴可绕轴向自转,并沿第二方向做往复运动,所述第一方向和所述第二方向均平行于所述载台表面,且所述第一方向和所述第二方向具有预设夹角,所述辊轴用于滚压铺设于所述晶圆表面的粘性膜,使所述粘性膜粘附在所述晶圆表面。
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