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申请/专利权人：北京子牛亦东科技有限公司
申请日：2023-11-29
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221182203U
主分类号：B01D50/60
分类号：B01D50/60
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅微粉过滤机构，包括外壳，所述外壳的侧边底部连通有进气管，而在所述外壳的底端连接有出气管，该出气管的顶端延伸至所述外壳的内部顶端，所述外壳的内部还设置有：催发组件，设置在所述外壳的内部，该催发组件由加热件和注气件组成，其中加热件设置在注气件的底部；在所述外壳的内部注入有挥发液油，所述催发组件浸入至挥发液油内；在本实用新型中，通过加热、注气的方式提升挥发液油的挥发效率，并配合喷淋的方式将挥发液油进行气雾喷出，在含有碳化硅微粉气体注入时，实现快速的附着过滤，既保证了真空泵的正常抽气，也能够实现对大通量的尾气处理，同时喷淋用的挥发液油为过滤后的循环利用。
主权项：1.一种碳化硅微粉过滤机构，包括外壳100，所述外壳100的侧边底部连通有进气管101，而在所述外壳100的底端连接有出气管102，该出气管102的顶端延伸至所述外壳100的内部顶端，其特征在于：所述外壳100的内部还设置有：催发组件，设置在所述外壳100的内部，该催发组件由加热件和注气件组成，其中加热件设置在注气件的底部；在所述外壳100的内部注入有挥发液油，所述催发组件浸入至挥发液油内；喷淋组件，设置在所述外壳100内部的中上位置处，用于将含有碳化硅微粉的尾气通过喷淋的方式实现去除微粉颗粒的目的，所述喷淋组件高于挥发液油，且喷淋组件上设置有供料件，该供料件的进料口处于挥发液油的内部底端处；导向组件，设置在所述外壳100的内部底端面上，该导向组件临近所述出气管102设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京子牛亦东科技有限公司 一种碳化硅微粉过滤机构
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