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一种基片载盘 

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申请/专利权人:浙江晟霖益嘉科技有限公司

摘要:本实用新型提供了一种基片载盘,包括框架和承载件,所述框架包括边横梁和边纵梁,所述边横梁和所述边纵梁可拆卸连接并围设成所述框架,所述承载件可拆卸地连接在所述框架的顶面。本实用新型提供的基片载盘结构简单,安装拆卸方便,可有效平衡整体刚性和承载柔性,使得基片的运输更加稳定,提高产品质量。同时便于后期拆卸进行整形维护和调整。框架的各个部分及承载件可以分体加工后进行拼接,也可以使用不同材质的框架进行拼接,可大幅降低生产成本。

主权项:1.一种基片载盘,其特征在于,包括框架和承载件,所述框架包括边横梁和边纵梁,所述边横梁和所述边纵梁可拆卸连接并围设成所述框架,所述承载件可拆卸地连接在所述框架的顶面。

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