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申请/专利权人：成都拓米电子装备制造有限公司

摘要：本发明公开了一种UTG激光钻孔装置及其钻孔方法，解决现有技术UTG激光钻孔时孔径不能低于25μm、孔周围热影响宽度、以及不能控制盲孔深度的技术问题。UTG激光钻孔装置包括操作台、UTG产品、激光器、准直扩束单元、光束整形机构和聚焦机构；钻孔方法为通过激光器发射4mm激光光束经分光后分别依次进行扩束、整形、聚焦成20μm圆形平顶光束打入UTG产品上进行钻孔。本发明结构简单、设计科学合理，使用方便，将高斯光束先整形为圆形平顶光束，使其光束能量分布呈圆帽状，加工后可有效改善钻孔周围的热影响，可有效控制盲孔深度，并且能够钻出低于25μm的微孔。

主权项：1.一种UTG激光钻孔装置，其特征在于，它包括：激光器（100），用于发射4mm激光光束，所述激光光束是脉宽为ps或fs的高斯激光光束；分光镜（110），用于将激光器（100）所发射激光光束分光为功率相同的反射路光束和透射路光束，并且在反射路光束光路上和透射路光束光路上均依次设置有准直扩束单元（130）、光束整形机构（140）、聚焦机构和安置有UTG产品（160）的操作台（170）；准直扩束单元（130）用于将激光器（100）所发射的激光光束扩束变大；光束整形机构（140）用于将扩束变大后的激光光束整形成为若干个呈阵列分布的圆形平顶光束；聚焦机构用于将圆形平顶光束聚焦成20μm圆形平顶光束后打到UTG产品（160）上以对UTG产品（160）进行钻孔；其中光束整形机构（140）包括：圆形平顶光整形单元（141）和光束掩模版（142），圆形平顶光整形单元（141）用于将通过准直扩束单元（130）扩束变大后的激光光束整形成能量分布均匀的初级圆形平顶光束；光束掩模版（142）用于将初级圆形平顶光束生成若干个大小能量均相同并呈阵列分布的圆形平顶光束；透射路光束光路上还设置有第一反射镜（120），第一反射镜（120）用于将从分光镜（110）出来的透射路光束反射至透射路光束光路上的准直扩束单元（130）上；聚焦机构包括用于调整圆形平顶光束方向的光路调整机构，以及将调整好方向的圆形平顶光束聚焦打入UTG产品（160）上的50倍红外聚焦物镜（150）；光路调整机构包括第二反射镜（121）和第三反射镜（122），圆形平顶光束依次经过第二反射镜（121）和第三反射镜（122）的反射后打入50倍红外聚焦物镜（150），所述UTG激光钻孔装置可有效改善钻孔周围的热影响。

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