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申请/专利权人：株式会社迪思科
申请日：2023-12-05
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231285A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：["20221219 JP 2022-201986"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明提供带粘贴装置，其与以往的带粘贴装置相比能够施加适当的压力而使保护带紧贴于被加工物。该带粘贴装置在板状的被加工物的第一面上粘贴保护带，其中，该带粘贴装置包含：卡盘工作台，其具有对被加工物的第二面侧进行保持的保持面；柱状的辊，其具有呈曲面状构成的侧面；支承构造，其按照辊能够绕辊的轴心旋转的方式对辊的两端部进行支承；以及移动机构，其使卡盘工作台与支承构造相对地移动，辊的侧面或和卡盘工作台的保持面构成为能够抑制从辊向第一面的压力的偏差的形状，该压力的偏差是因辊的侧面隔着保护带而被推抵于被加工物的第一面侧时的辊的变形而产生的。
主权项：1.一种带粘贴装置，其在具有第一面以及位于该第一面的相反侧的第二面的板状的被加工物的该第一面上粘贴保护带，其中，该带粘贴装置包含：卡盘工作台，其具有对该被加工物的该第二面侧进行保持的保持面；柱状的辊，其具有呈曲面状构成的侧面；支承构造，其按照该辊能够绕该辊的轴心旋转的方式对该辊的两端部进行支承；以及移动机构，其一边隔着该保护带而将该辊的该侧面推抵于该被加工物的该第一面侧以便使该保护带与该卡盘工作台的该保持面所保持的该被加工物的该第一面侧紧贴，一边使该卡盘工作台与该支承构造相对地移动以便该辊在与沿着该保持面的方向平行且与该轴心垂直的方向上移动，该辊的该侧面或和该卡盘工作台的该保持面构成为能够抑制从该辊向该第一面的压力的偏差的形状，该压力的偏差是因该辊的该侧面隔着该保护带而被推抵于该被加工物的该第一面侧时的该辊的变形而产生的。
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