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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日：2024-03-06
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118169931A
主分类号：G02F1/21
分类号：G02F1/21;G02B6/12
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.28#实质审查的生效;2024.06.11#公开
摘要：本发明涉及一种基于双电感技术的迈克尔逊型电光调制器，包括光学结构部分和电学结构部分；所述光学结构部分包括多模干涉耦合器、掺杂波导区域、第一反射器和第二反射器；所述多模干涉耦合器的输出端分为与第一反射器连接的第一干涉臂和与第二反射器连接的第二干涉臂，其中，第一干涉臂和第二干涉臂中至少有一个干涉臂经过所述掺杂波导区域；所述电学结构部分包括由第一螺旋电感和第二螺旋电感构成的双电感螺旋结构，所述双电感螺旋结构与所述掺杂波导区域的金属层相连，实现对所述掺杂波导区域的电信号加载。本发明能够增大器件带宽。
主权项：1.一种基于双电感技术的迈克尔逊型电光调制器，其特征在于，包括光学结构部分和电学结构部分；所述光学结构部分包括多模干涉耦合器、掺杂波导区域、第一反射器和第二反射器；所述多模干涉耦合器的输出端分为与第一反射器连接的第一干涉臂和与第二反射器连接的第二干涉臂，其中，第一干涉臂和第二干涉臂中至少有一个干涉臂经过所述掺杂波导区域；所述电学结构部分包括由第一螺旋电感和第二螺旋电感构成的双电感螺旋结构，所述双电感螺旋结构与所述掺杂波导区域接触的金属层相连，实现对所述掺杂波导区域的电信号加载。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种基于双电感技术的迈克尔逊型电光调制器
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