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申请/专利权人：中科合肥技术创新工程院
摘要：本实用新型涉及一种基于TGV技术的真空紫外灯电离装置，该装置包括平行设置的第一基板与第二基板；所述第一基板上安装有真空紫外灯；所述第一基板的外表面设置有第一牵引电极和第一焊盘，内表面设置有第二牵引电极；所述第二牵引电极通过第一TGV穿孔与所述第一焊盘相连；所述第二基板的内表面设置有第三牵引电极；所述第三牵引电极通过TGV穿孔与所述焊盘相连；所述第一牵引电极、所述第二牵引电极和所述第三牵引电极上施加的电压依次减少。本实用新型在真空紫外灯和离子检测分析区域接口装置纵向施加离子牵引电极，将囚禁在接口装置中的离子牵引至离子传输区域中，不仅提高了离子检测分析区域的检测灵敏度，还实现了接口装置的集成化制造。
主权项：1.一种基于TGV技术的真空紫外灯电离装置，其特征在于，该装置包括平行设置的第一基板2与第二基板10；所述第一基板2上安装有真空紫外灯4；所述第一基板2的外表面设置有第一牵引电极5和第一焊盘3，内表面设置有第二牵引电极7；所述第二牵引电极7通过第一TGV穿孔11与所述第一焊盘3相连；所述第二基板10的内表面设置有第三牵引电极9，外表面设置有第二焊盘；所述第三牵引电极9通过第二TGV穿孔与所述第二焊盘相连；所述第一牵引电极5、所述第二牵引电极7和所述第三牵引电极9上施加的电压依次减少。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科合肥技术创新工程院 一种基于TGV技术的真空紫外灯电离装置
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