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申请/专利权人：四川大学
摘要：本发明公开了一种疵病检测方法、装置、设备以及介质，包括：提取目标物体的干涉图的相位；根据干涉图的相位的频谱分布判断干涉图的相位是否存在欠采样；若存在，则重复执行步骤S131‑S133，直至目标物体的干涉图的相位不存在欠采样，包括：步骤S131，调控剪切量与剪切方向；步骤S132，对干涉图进行插值运算，以对干涉图的相位进行补充更新；步骤S133，根据补充更新后的干涉图的相位的频谱分布，判断干涉图的相位是否存在欠采样；对干涉图的相位进行相位解包裹；基于相位解包裹的结果确定目标物体的疵病三维分布。本发明属于疵病检测领域，本发明可以提高光学元件疵病检测的准确率，扩展疵病检测深度。
主权项：1.一种疵病检测方法，其特征在于，所述方法包括：提取目标物体的干涉图的相位；根据所述干涉图的相位的频谱分布判断所述干涉图的相位是否存在欠采样；若存在，则重复执行步骤S131-S133，直至所述目标物体的干涉图的相位不存在欠采样，包括：步骤S131，调控剪切量与剪切方向；步骤S132，对所述干涉图进行插值运算，以对所述干涉图的相位进行补充更新；步骤S133，根据补充更新后的干涉图的相位的频谱分布，判断所述干涉图的相位是否存在欠采样；对所述干涉图的相位进行相位解包裹；基于所述相位解包裹的结果确定所述目标物体的疵病三维分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川大学 一种疵病检测方法、装置、设备以及介质
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