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申请/专利权人：金宏气体股份有限公司

摘要：本发明公开了一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置。与现有技术相比，本发明采用双回路过滤，可同时处理两个钢瓶，提高了钢瓶的处理效率，以反复过滤取代大量高纯水清洗，不产生废液，也无需再对钢瓶进行除水处理，减少了钢瓶的处理时间且用量少，装置结构设计合理，操作简单，可以严格控制金属杂质含量在可接受范围之内，同时还可进一步设置有尾气吸附柱，解决了尾气排放环境污染的问题。

主权项：1.一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的方法，其特征在于，采用去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置；所述去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置包括：第一过滤器、第二过滤器、高纯氮气钢瓶、超高纯正硅酸乙酯钢瓶、第一待处理钢瓶、第二待处理钢瓶与真空泵；所述超高纯正硅酸乙酯钢瓶中设置有超高纯正硅酸乙酯；所述第一待处理钢瓶包括气相阀门与液相阀门；所述第一待处理钢瓶内设置有液体管路；所述液体管路一端与液体阀门相连通，另一端开口位于第一待处理钢瓶的底部；所述第二待处理钢瓶包括气相阀门与液相阀门；所述第二待处理钢瓶内设置有液体管路；所述液体管路一端与液体阀门相连通，另一端开口位于第二待处理钢瓶的底部；所述超高纯正硅酸乙酯钢瓶与第一待处理钢瓶的液相阀门相连通；所述第一待处理钢瓶与第二待处理钢瓶通过第一过滤器及第二过滤器相连通；所述第一过滤器与第二过滤器为并联；所述高纯氮气钢瓶与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通；所述真空泵与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通；S1）将第一待处理钢瓶中充入合格的超高纯正硅酸乙酯；S2）将高纯氮气充入第二待处理钢瓶中，抽出，反复处理后，将第一待处理钢瓶中的超高纯正硅酸乙酯经第一过滤器或第二过滤器充入第二待处理钢瓶中；S3）将第一待处理钢瓶经抽真空处理后，再将第二待处理钢瓶中的超高纯正硅酸乙酯经第二过滤器或第一过滤器再导入第一待处理钢瓶中；S4）将第二待处理钢瓶经抽真空处理后，再将第一待处理钢瓶中的超高纯正硅酸乙酯经第一过滤器或第二过滤器再导入第二待处理钢瓶中；重复上述步骤S3）与S4）；所述步骤S2）中所述高纯氮气充入第二待处理钢瓶的量使第二待处理钢瓶的压力为1~5psig；重复上述步骤S3）与S4）后，使第一待处理钢瓶与第二待处理钢瓶中均有部分过滤后的超高纯正硅酸乙酯，分别检测第一待处理钢瓶与第二待处理钢瓶中过滤后的超高纯正硅酸乙酯的颗粒度。

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