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摘要：本发明一种Fano微环谐振腔调制器结构，包括衬底、包层及微环谐振腔，微环谐振腔由电光薄膜晶体层通过微纳加工工艺制得，包括多个直线光波导、多个环形光波导及电极，多个直线光波导形成非对称式马赫曾德尔干涉仪，多个环形光波导形成Fano微环谐振腔。本发明通过将非对称式马赫曾德尔干涉仪和微环谐振腔相结合的方式，实现了低驱动电压下的高消光比，最终实现小型化器件的低功耗高速信号传输。该器件能够通过最为常规的微纳加工方法制备得到，可以在多数光芯片和光模块厂商中实现，满足未来集成化、低功耗的发展需求。
主权项：1.一种Fano微环谐振腔调制器结构，其特征在于，该结构包括衬底（1）、包层及微环谐振腔，所述微环谐振腔由电光薄膜晶体层（2）通过微纳加工工艺制得，包括多个直线光波导（3）、多个环形光波导（4）及电极（5），多个直线光波导（3）形成非对称式马赫曾德尔干涉仪（6），多个环形光波导（4）形成Fano微环谐振腔（7）。
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百度查询： 国科大杭州高等研究院 一种Fano微环谐振腔调制器结构
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