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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种沉积室系统，包括：反应器接口；导流件，该导流件附接到该反应器接口；反应器框架，该反应器框架设置在该反应器接口下方以固定基板；以及弹性物体，该弹性物体具有对应于附接到该反应器框架的基部的第一端部和对应于设置在该反应器接口下方的压缩主体的第二端部，以用压缩力在该反应器接口与该反应器框架之间形成工艺气体围堵密封。该导流件是用于将工艺气流引导到反应器中来对于装载在该反应器中的基板执行沉积工艺的上游导流件或在执行该沉积工艺之后将残余物引导出该反应器的下游导流件中的一者。
主权项：1.一种沉积室系统，包括：反应器接口；导流件，所述导流件附接到所述反应器接口，其中所述导流件是用于将工艺气流引导到反应器中来对于装载在所述反应器中的基板执行沉积工艺的上游导流件或在执行所述沉积工艺之后将残余物引导出所述反应器的下游导流件中的一者；反应器框架，所述反应器框架设置在所述反应器接口下方以固定基板；以及弹性物体，所述弹性物体具有对应于附接到所述反应器框架的基部的第一端部和对应于设置在所述反应器接口下方的压缩主体的第二端部，以用压缩力在所述反应器接口与所述反应器框架之间形成工艺气体围堵密封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用与反应器框架配合的弹性物体的工艺气体围堵
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