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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种沉积室系统，包括反应器接口；导流件，所述导流件附接至所述反应器接口；反应器框架，所述反应器框架设置在所述反应器接口下方以紧固基板；以及弹性物体，所述弹性物体具有与附接至所述反应器接口的基部对应的第一端和与设置在所述反应器框架上方的压缩主体对应的第二端，以使用压缩力在所述反应器接口与所述反应器框架之间形成工艺气体围堵密封。所述导流件是上游导流件或下游导流件中的一者，所述上游导流件引导工艺气体流进入反应器以对装载在所述反应器中的基板执行沉积工艺，所述下游导流件在执行所述沉积工艺之后将残余工艺气体引导出所述反应器。
主权项：1.一种沉积室系统，所述沉积室系统包括：反应器接口；导流件，所述导流件附接至所述反应器接口，其中所述导流件是上游导流件或下游导流件中的一者，所述上游导流件用于将工艺气体流引导进入反应器以对装载在所述反应器中的基板执行沉积工艺，所述下游导流件用于在执行所述沉积工艺后将残留物引导出所述反应器；反应器框架，所述反应器框架设置在所述反应器接口下方以紧固基板；以及弹性物体，所述弹性物体具有与附接至所述反应器接口的基部对应的第一端和与设置在所述反应器框架上方的压缩主体对应的第二端，以使用压缩力在所述反应器接口与所述反应器框架之间形成工艺气体围堵密封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用与反应器接口配合的弹性物体进行的工艺气体围堵
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