龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本申请公开一种生成缺陷掩模样本的方法、装置和电子设备，涉及图像处理技术领域。方法包括：基于预设软件所设计的掩模板生成带缺陷的掩模版图设计文件；获取所述掩模版图设计文件对应的实际掩模板图像；将所述掩模版图设计文件和所述实际掩模板图像经过深度学习网络算法训练确定生成掩模样本的目标最佳网络参数，得到目标图像处理网络模型；在接收到最新掩模版图设计文件时，通过所述目标图像处理网络模型生成对应的目标缺陷掩模样本图像。解决了掩模检测中实际图像样本难以获取且价格昂贵的问题，有助于更好的实现掩模缺陷的提取与识别算法。该方法对反射式掩模板的颗粒检测的样本集获取同样适用。
主权项：1.一种生成缺陷掩模样本的方法，其特征在于，所述方法包括：基于预设软件所设计的掩模板生成带缺陷的掩模版图设计文件；获取所述掩模版图设计文件对应的实际掩模板图像；将所述掩模版图设计文件和所述实际掩模板图像经过深度学习网络算法训练确定生成掩模样本的目标最佳网络参数，得到目标图像处理网络模型；在接收到最新掩模版图设计文件时，通过所述目标图像处理网络模型生成对应的目标缺陷掩模样本图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种生成缺陷掩模样本的方法、装置和电子设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号