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申请/专利权人：河南工业大学
摘要：本发明公开了一种表面纳米孔道的金刚石刻蚀方法，属于金刚石表面处理领域。主要过程是先将金刚石预处理，再经过在金刚石表面氢气还原氯化铁（FeCl3·6H2O），得到纳米铁粉包裹的金刚石，将纳米铁粉包裹的金刚石放入管式炉中在持续通入氢气气氛条件下进行加热刻蚀，最后进行清洗处理即可得到表面纳米孔道的金刚石。本发明操作简单、原料廉价易得、设备简单，可以满足工业生产。
主权项：1.一种穿孔金刚石的刻蚀方法，其特征在于由以下步骤实现：a、金刚石表面预处理，其具体过程为：将金刚石先进行酸处理、碱处理去除表面油污和其他杂质，最后用蒸馏水洗涤至中性，烘干备用；b、金刚石刻蚀前准备，其具体过程为：将稀释的氯化铁溶液浸湿在金刚石表面，然后将样品放入微波炉中干燥；c、金刚石的刻蚀，其具体过程为：将准备好的金刚石样品放入管式炉中，在加热前先通入氢气，用氢气排出装置里面的空气，检验尾气中的氢气纯净以后，在流动的氢气气氛下加热至700℃到1000℃，保温时间为50min到150min,反应完成后，停止加热，继续通氢气，直到装置冷却至室温；d、刻蚀后金刚石的处理，其具体过程为：将刻蚀后的金刚石样品放入质量分数为10%的盐酸中清洗，并用超声波震荡10min到15min，震荡后用蒸馏水洗涤至中性，烘干，即得到表面为纳米孔道的金刚石。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南工业大学 一种表面纳米孔道的金刚石刻蚀方法
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