龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：大连创锐光谱科技有限公司
摘要：本申请公开了一种半导体晶圆少子寿命成像系统与方法。系统包括：控制模块，用于生成第一电脉冲信号和第二电脉冲信号；光源模块，根据第一电脉冲信号和第二电脉冲信号产生探测光束和激发光束；承载模块，用于固定晶圆；扩束模组，使探测光束和激发光束能够通过扩束模组入射至固定在承载模块的晶圆上，使晶圆上的少子在激发光束的激发下从基态转换到激发态，探测光束探测处于激发态的少子；成像模块，用于获取探测光束探测到的处于激发态的少子，生成晶圆的瞬态吸收图像；控制模块还用于根据瞬态吸收图像，生成晶圆少子寿命图像。本申请实施例，能够提高少子寿命成像的成像效率。
主权项：1.一种半导体晶圆少子寿命成像系统，其特征在于，包括：控制模块，用于生成第一电脉冲信号和第二电脉冲信号，所述第一电脉冲信号的使能电平的起始时刻与所述第二电脉冲信号的使能电平的起始时刻存在预设时间间隔；光源模块，和控制模块电连接，以使所述光源模块能够根据所述第一电脉冲信号和第二电脉冲信号产生探测光束和激发光束；承载模块，用于固定晶圆；扩束模组，设置在所述光源模块和所述承载模块之间，以使所述探测光束和所述激发光束能够通过所述扩束模组入射至固定在所述承载模块的晶圆上，以使所述晶圆上的少子在所述激发光束的激发下从基态转换到激发态，所述探测光束探测处于激发态的少子；成像模块，和所述控制模块电连接，所述成像模块用于获取所述探测光束探测到的处于激发态的少子，生成晶圆的瞬态吸收图像；所述控制模块还用于根据所述瞬态吸收图像，生成晶圆少子寿命图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连创锐光谱科技有限公司 一种半导体晶圆少子寿命成像系统与方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号