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申请/专利权人：华南理工大学
摘要：本发明公开了一种CVDCVI数字化模型和预测方法，包括第一H2桶、Ar桶、第二H2桶、化学气相沉积反应器、气体混合器、带加热功能的电子天秤；第一H2桶的输出口、Ar桶的输出口、带加热功能的电子天秤均连接气体混合器，第二H2桶的输出口均连接气体混合器，气体混合器连接化学气相沉积在反应器的进气口：本发明实现了在较宽CVDCVI工艺参数范围内对SiC的沉积率进行快速、准确的预测，为未来的CVDCVI数字孪生和智能制造奠定理论和方法基础。
主权项：1.一种CVDCVI数字化模型，其特征在于，包括第一H2桶、Ar桶、第二H2桶、化学气相沉积反应器、气体混合器和带加热功能的电子天秤；所述第一H2桶的输出口、Ar桶的输出口、带加热功能的电子天秤均连接气体混合器，所述第二H2桶的输出口连接气体混合器，所述气体混合器连接化学气相沉积在反应器的进气口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华南理工大学 一种CVD/CVI数字化模型和预测方法
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