龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
摘要：本发明公开了一种光刻机MLA透镜的对准调节系统，涉及光刻机像差调节技术领域，包括有可接收光学系统的曝光光源的DMD反射单元以及可接收DMD反射单元所射出的光束的MLA透镜单元，还包括有可接收MLA透镜单元所折射出的光束的曝光焦面，所述DMD反射单元所射出的光束在MLA透镜单元上第一次成像，经过所述MLA透镜单元再次射出后位于曝光焦面表面二次成像。本发明可驱使棱镜单元调节与横向水平面的夹角度数，以达到折射、矫正光束的目的，提高了由DMD反射单元所射出的多个独立光束与MLA透镜单元内部的多个微透镜相对应过程中的精准度，进一步提高了经过MLA透镜单元射出至曝光基板上光束的质量，提升了曝光焦面上成像的精准度。
主权项：1.一种光刻机MLA透镜的对准调节系统，包括有可接收光学系统的曝光光源的DMD反射单元1以及可接收DMD反射单元1所射出的光束的MLA透镜单元2，其特征在于：还包括有可接收MLA透镜单元2所折射出的光束的曝光焦面3，所述DMD反射单元1所射出的光束在MLA透镜单元2上第一次成像，经过所述MLA透镜单元2再次射出后位于曝光焦面3表面二次成像；由所述DMD反射单元1射出至MLA透镜单元2表面的光路中还设置有调节的棱镜单元，所述棱镜单元可调节与横向水平面的夹角度数，折射光束，驱使DMD反射单元1所射出的图案光束与MLA透镜单元2相对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽国芯光刻技术有限公司 一种光刻机MLA透镜的对准调节系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号