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申请/专利权人：大连恒坤新材料有限公司
摘要：本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统。所述正硅酸乙酯的提纯方法包括：将正硅酸乙酯粗品采用吸附剂I进行初次吸附处理后固液分离，所得液体产物为正硅酸乙酯吸附液；所述吸附剂I中同时含有壳聚糖和沸石及果壳活性炭；将正硅酸乙酯吸附液在温度为70～100℃、真空度≤60kPa条件下减压蒸馏，所得气体产物冷凝后得到正硅酸乙酯蒸馏液；将正硅酸乙酯蒸馏液进行过滤以除去粒径为0.1μm以下的颗粒物，得到高纯正硅酸乙酯。采用本发明提供的方法能够以低成本获得纯度不低于99.999999％的电子级正硅酸四乙酯。
主权项：1.一种正硅酸乙酯的提纯方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1、将正硅酸乙酯粗品采用吸附剂I进行初次吸附处理后固液分离，所得液体产物为正硅酸乙酯吸附液；所述吸附剂I中同时含有壳聚糖和沸石及果壳活性炭；S2、将正硅酸乙酯吸附液在温度为70～100℃、真空度≤60kPa条件下减压蒸馏，所得气体产物冷凝后得到正硅酸乙酯蒸馏液；S3、将正硅酸乙酯蒸馏液进行过滤以除去粒径为0.1μm以下的颗粒物，得到高纯正硅酸乙酯。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连恒坤新材料有限公司 一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统
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