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摘要：本发明公开了一种用于MBE的智能生长系统及其使用方法，用于实时检测外延材料的生长情况并进行分析，同时自动调整外延材料的生长参数，进而提高外延材料的生长质量及可重复性。该系统由原位检测系统、数据分析系统、自动控制系统及其他组件构成。原位检测系统通过椭偏仪、RHEED、红外测温仪等仪器对外延材料生长情况的进行实时检测，同时对数据进行采集并传输到数据分析系统中对数据进行人工智能处理分析，并将分析结果反馈至自动控制系统对生长参数进行实时调整。本系统实现了实时监测和自动控制MBE外延生长，解决了人工监测和控制的主观性问题，优化了MBE外延生长的流程。
主权项：1.一种用于MBE的智能生长系统及其使用方法，其特征在于，该系统由原位检测系统、数据分析系统、自动控制系统组成。
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百度查询： 电子科技大学长三角研究院(湖州) 一种用于MBE的智能生长系统及其使用方法
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