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申请/专利权人：浙江大学;浙江大学温州研究院
摘要：本发明公开了一种CuIZTO异质结紫外探测器及其制备方法，该紫外探测器自下而上依次有ITO导电玻璃、ZnSnOZTO层、CuI层，其中ITO导电玻璃和CuI层上制备有Au电极。其制备方法如下：先采用脉冲激光沉积PLD方法在ITO导电玻璃上制备ZTO薄膜，然后将配置好的CuI前驱体溶液旋涂在ZTO薄膜上，旋涂数次并退火，再用电子束蒸发在CuI和ITO表面镀上Au作为电极，完成紫外探测器的制备。相比于传统的紫外探测器，此方法制备的紫外探测器能在零偏压下实现高开关比和高响应速度，且结构简单、制备成本低，在军事、民用以及一些特殊领域有重要的应用价值。
主权项：1.一种CuIZTO异质结紫外探测器的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：1）清洗ITO衬底，获得表面洁净无杂质且无氧吸附的ITO衬底；2）采用PLD方法在洁净的ITO衬底表面沉积ZTO层；3）在ZTO层表面旋涂CuI前驱体溶液并进行退火得到CuI层；4）在CuI层和ITO层表面蒸镀Au电极，得到CuIZTO异质结紫外探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 浙江大学温州研究院 一种CuI/ZTO异质结紫外探测器及其制备方法
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