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光力信号解调方法和光致力显微镜 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本发明公开了一种光力信号解调方法和光致力显微镜,该光力信号解调方法包括:将探针的振动电信号分别同时输入至第一图锁相放大器和第二图锁相放大器,第一图锁相放大器的参考信号频率为探针的悬臂受迫振动信号频率,第二图锁相放大器的参考信号频率为悬臂受迫振动信号频率和激发光的重复频率的之和或之差;采用第一图锁相放大器对探针的振动电信号进行解调得到样品的高度信号,采用第二图锁相放大器对探针的振动电信号进行解调得到样品的光力信号。由此,显著提高了样品的原位成像的便捷性,显著提高了探针的振动电信号的探测灵敏度,显著增加了样品扫描分辨率。

主权项:1.一种光力信号解调方法,其特征在于,包括:将探针的振动电信号分别同时输入至第一图锁相放大器和第二图锁相放大器,所述第一图锁相放大器的参考信号频率为所述探针的悬臂受迫振动信号频率,所述第二图锁相放大器的参考信号频率为所述悬臂受迫振动信号频率和激发光的重复频率的之和或之差;采用所述第一图锁相放大器对所述探针的振动电信号进行解调得到样品的高度信号,采用所述第二图锁相放大器对所述探针的振动电信号进行解调得到所述样品的光力信号。

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权利要求:

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