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申请/专利权人：斯格瑞公司
摘要：本公开涉及TALBOT‑LAUX射线源和干涉测量系统。提供了一种x射线源，以及采用该x射线源的x射线干涉测量系统。x射线源包括靶，所述靶包括衬底和多个结构。衬底包括导热的第一材料和第一表面。多个结构位于第一表面的至少一部分上或嵌入在第一表面的至少一部分中。结构彼此分开并与衬底热连通。结构包括与第一材料不同的至少一种第二材料，该至少一种第二材料被配置为在由具有0.5keV至160keV的能量范围内的能量的电子照射时生成x射线。x射线源还包括电子源，其被配置为生成电子，并且引导电子以撞击靶并且沿着相对于第一表面的该部分的表面法线的非零角度处的方向照射至少一些结构。
主权项：1.一种x射线源，包括：靶，所述靶包括：衬底，所述衬底包括导热的第一材料和第一表面；以及多个结构，所述多个结构位于所述第一表面的至少一部分上或嵌入在所述第一表面的至少一部分中，所述结构彼此分开并且与所述衬底热连通，所述结构包括与所述第一材料不同的至少一种第二材料，所述至少一种第二材料被配置为在由具有处于0.5keV至160keV的能量范围内的能量的电子进行照射时生成x射线；以及电子源，所述电子源被配置为生成所述电子，并且引导所述电子以撞击所述靶并且沿着相对于所述第一表面的所述一部分的表面法线的非零角度处的方向照射所述结构中的至少一些结构，所述电子的所述角度和动能被配置为使得所述电子中的至少一些电子在所述靶内具有足以穿透所述第一表面并且照射所述结构中的至少两个结构的电子穿透深度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 斯格瑞公司 TALBOT-LAU X射线源和干涉测量系统
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