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申请/专利权人：金陵科技学院
摘要：本发明公开了一种缓解柔性CZTSSe薄膜太阳能电池残余应力方法，在柔性Ti衬底和背电极Mo之间引入梯度应力缓释层，所述梯度应力缓释层结构为TiN‑Al2O3‑Cr，所述梯度应力缓释层通过在制备背电极Mo层之前先后在Ti衬底上引入TiN层、Al2O3层和Cr层得到，总厚度不高于90nm。本发明通过在柔性Ti衬底和背电极Mo之间引入TiN‑Al2O3‑Cr梯度应力缓释层，利用梯度应力缓释层对残余应力的释放和异质结特性的促进作用，有效的降低了电池残余应力，提高了薄膜结晶的质量，最终使得电池的光电效率进一步提高，同时，本发明通过降低电池热应力的方法，提高了电池的机械强度和转换效率，即使在恶劣的弯曲环境下，仍能保持较高的PCE。
主权项：1.一种缓解柔性CZTSSe薄膜太阳能电池残余应力方法，其特征在于，在柔性Ti衬底和背电极Mo之间引入梯度应力缓释层，所述梯度应力缓释层结构为TiN-Al2O3-Cr，所述梯度应力缓释层通过在制备背电极Mo层之前依次在Ti衬底上引入TiN层、Al2O3层和Cr层得到，总厚度不高于90nm。
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权利要求：
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