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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
摘要：本发明涉及单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法。装置包括由上基板、离子源中间垫片和中基板围成的离化腔体，由中基板、FAIMS分析器中间垫片和下基板围成的检测腔体。离化腔体为离化区，包括多针板电极和离子源板电极。检测腔体的中段为分析区，包括FAIMS分离上电极和FAIMS分离下电极。检测腔体的右端为离子检测区，包括FAIMS致偏电极和样品特征离子检测电极。上基板的左端开设有进样口，分析区左侧的中间基板上开设有FAIMS分析器离子入口，FAIMS分析器中间垫片的右端开设有尾气出口。本发明能够提高待测样品的离子化效率，解决了离化区、分析区长距离离子传输的损耗问题和仪器微型化困难的难题，有利于拓展FAIMS技术的现场检测领域。
主权项：1.单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置，其特征在于：包括自上向下依次设置的上基板、中基板与下基板；所述上基板与中基板之间设有中空的离子源中间垫片，上基板的底部、离子源中间垫片的内壁和中基板的顶部围成离化腔体；所述中基板与下基板之间设有中空的FAIMS分析器中间垫片，中基板的底部、FAIMS分析器中间垫片的内壁和下基板的顶部围成检测腔体；所述离化腔体为离化区，包括设置在上基板底部的多针板电极和设置在中基板顶部的离子源板电极；所述多针板电极与多针放电电压源相连，离子源板电极与板电极地相连；所述检测腔体的中段为分析区，包括设置在中基板底部的FAIMS分离上电极和设置在下基板顶部的FAIMS分离下电极；所述FAIMS分离上电极与FAIMS分离电压源相连，FAIMS分离下电极与FAIMS补偿电压源相连；所述检测腔体的右端为离子检测区，包括设置在中基板底部的FAIMS致偏电极和设置在下基板顶部的样品特征离子检测电极；所述FAIMS致偏电极和FAIMS致偏电压源相连，样品特征离子检测电极和微弱电流探测器相连；所述上基板的左端开设有进样口，分析区左侧的中基板上开设有连通离化腔体与检测腔体的FAIMS分析器离子入口，FAIMS分析器中间垫片的右端开设有尾气出口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法
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